万润股份申请光刻胶顶层涂层专利，提高了光刻胶的性能lg...

摘要：金融界2024年1月1日消息，据国家知识产权局公告，中节能万润股份有限公司申请一项名为“一种用于光刻胶顶层涂层的聚合物、制备方法及应用“，公开号CN117304394A，申请日期为2023年11月。专利摘要显示，本发明涉及光刻胶技术领域，具体涉及一种用于光刻胶顶层涂层的聚合物、制备方法及应用，所述光刻胶为193nm浸没式光刻胶，所述聚合物为如下结构：此专利可提高光刻胶的性能。