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晶合集成申请多次可编程器件及其制备方法专利,该专利技术能适应于各制程的工艺

2024-01-01 16:48:20
金融界
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摘要:金融界2024年1月1日消息,据国家知识产权局公告,合肥晶合集成电路股份有限公司申请一项名为“多次可编程器件及其制备方法“,公开号CN117320452A,申请日期为2023年11月。专利摘要显示,本发明涉及一种多次可编程器件及其制备方法。一种多次可编程器件包括:衬底,衬底包括第一阱区和第二阱区,第一阱区为第一导电类型,第二阱区为第二导电类型,第一阱区具有源极和漏极,第二阱区具有控制栅极,其中,源极、漏极和控制栅极均为第二导电类型;栅介质层,同时覆盖部分第一阱区的表面和部分第二阱区的表面,形成环形结构;以及浮栅结构,覆盖于栅介质层上,浮栅结构与栅介质层形状匹配,也为环形结构。本申请提供的多次可编程器件能够适应于各制程的工艺,具有广泛的应用场景。

金融界2024年1月1日消息,据国家知识产权局公告,合肥晶合集成电路股份有限公司申请一项名为“多次可编程器件及其制备方法“,公开号CN117320452A,申请日期为2023年11月。

专利摘要显示,本发明涉及一种多次可编程器件及其制备方法。一种多次可编程器件包括:衬底,衬底包括第一阱区和第二阱区,第一阱区为第一导电类型,第二阱区为第二导电类型,第一阱区具有源极和漏极,第二阱区具有控制栅极,其中,源极、漏极和控制栅极均为第二导电类型;栅介质层,同时覆盖部分第一阱区的表面和部分第二阱区的表面,形成环形结构;以及浮栅结构,覆盖于栅介质层上,浮栅结构与栅介质层形状匹配,也为环形结构。本申请提供的多次可编程器件能够适应于各制程的工艺,具有广泛的应用场景。

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