金融界2023年12月30日消息,据国家知识产权局公告,扬州扬杰电子科技股份有限公司申请一项名为“一种碳化硅半导体器件及其制备方法“,公开号CN117316985A,申请日期为2023年10月。
专利摘要显示,一种碳化硅半导体器件及其制备方法。涉及半导体技术领域。包括从下而上依次设置的碳化硅衬底和碳化硅漂移层,所述碳化硅漂移层的顶面设有若干间隔向下延伸的沟槽;还包括:PW区,位于所述沟槽处;NP区,从所述沟槽的顶部向下延伸,包裹于所述PW区内;PP区,设置在所述沟槽处,位于所述NP区的下方;栅氧层,设置在相邻沟槽之间,位于所述碳化硅漂移层的顶面;Poly层,设置在所述栅氧层的顶面;隔离层,设置在所述Poly层上,并从侧部向下延伸至NP区;本发明一定程度上减小了N‑漂移层所带来的电阻,从而可降低体二极管的导通电阻,减少其在续流过程中产生的损耗。