拓荆科技：子公司拟向新松半导体增资1500万元获1.07%股权lg...

拓荆科技公告，公司的全资子公司上海岩泉科技有限公司拟以1500万元认购新松半导体新增注册资本300万元，获得本次增资后新松半导体1.0714%的股权。新松半导体的核心产品主要为真空机械手及集束型设备，包括大气机械手、EFEM、真空机械手及真空传输平台等系列产品，主要应用于刻蚀、薄膜沉积、离子注入等工艺环节及领域，广泛服务于硅片生产、晶圆加工、先进封装及封装测试等半导体制造全产业链。