金融界2024年2月3日消息,据国家知识产权局公告,清华大学取得一项名为“一种基于二硒化钨的微型压阻式应力传感器“,授权公告号CN109297622B,申请日期为2018年11月。
专利摘要显示,一种基于二硒化钨的微型压阻式应力传感器,结构从上到下依次为氮化硼层、金属电极、二硒化钨层和柔性基底;二硒化钨层两端与金属电极相连;二硒化钨层的上表面被氮化硼层完全覆盖;所述二硒化钨层为二维材料,即厚度方向仅有单层原子或少数几层原子,少数几层为1‑10层;本发明采用二硒化钨作为核心敏感材料,利用二硒化钨对应力敏感的特性(压阻特性)进行应力检测,氮化硼作为保护层,使应力传感器的抗弯折能力强、具有较大的量程、灵敏度高、体积小、易加工、长期稳定性好等特点。