长鑫存储申请非零偏移量确定方法专利，准确性更高lg...

摘要：金融界2024年1月5日消息，据国家知识产权局公告，长鑫存储技术有限公司申请一项名为“非零偏移量确定方法及设备“，公开号CN117352407A，申请日期为2022年6月。专利摘要显示，本公开实施例提供一种非零偏移量确定方法及设备，涉及半导体技术领域，包括：获取当前批次之前多个历史批次的晶圆在目标材料层的叠对数据；按照工艺环境，将各个历史批次的晶圆进行分类；根据各个历史批次的晶圆在各类工艺环境下对应的叠对数据，确定各个历史批次的晶圆在各类工艺环境下的叠对误差；根据确定的叠对误差，确定当前批次的晶圆对应的目标材料层在各类工艺环境下的非零偏移量。本公开实施例通过将多个历史批次的晶圆进行分类，并按照各个历史批次的晶圆在各类工艺环境下的叠对误差，来动态确定当前批次的晶圆对应的目标材料层在各类工艺环境下的非零偏移量，相较于采用固定非零偏移量进行补偿的方式，准确性更高。