中科飞测-U取得光学系统及检测装置专利，解决了光学系统不能对被测物的不同厚度位置同时成像的问题lg...

摘要：金融界2023年12月28日消息，据国家知识产权局公告，深圳中科飞测科技股份有限公司取得一项名为“一种光学系统及检测装置“，授权公告号CN220252272U，申请日期为2023年6月。专利摘要显示，本实用新型涉及光学系统及检测装置。一种光学系统，包括：第一探测器、第二探测器，第一探测器、第二探测器分别通过第一成像光路、第二成像光路对被测物进行聚焦取像；第一成像光路聚焦于被测物表面的第一检测高度，第二成像光路聚焦于被测物表面的第二检测高度；以及楔形镜组，楔形镜组设于第一成像光路中，用于改变第一成像光路的光程，以使第一检测高度和第二检测高度不同。一种检测装置，包括：承载台，承载台用于承载被测物；光学系统，光学系统即上述光学系统，用于对被测物进行光学检测；以及驱动装置，驱动装置用于带动光学系统移动以实现对被测物不同部位的成像。本实用新型解决了光学系统不能对被测物的不同厚度位置同时成像的问题。