电子特气有着芯片加工之“粮食”的称号,主要用于集成电路、显示面板、LED、光伏电池领域,贯穿晶圆加工的制备外延片、清洗、沉积和氧化成膜、光刻、刻蚀、掺杂(离子注入/扩散)各环节,纯度要求在5N (99.999%)及以上。具体产品包括氟碳类、氟氮类、硅烷气、磷烷/砷烷、氢化物、光刻气(稀有气体)等,其中含氟特气(三氟化氮、四氟化碳、六氟化钨)用量规模大、国产化率较高,但高纯六氟丁二烯、六氟乙烷、硅烷气、高纯磷烷/砷烷、稀有气体等特气仍依赖进口,目前国内企业相关产品的自研技术已实现突破,未来三年内将加速进入产业化。
电子材料咨询公司TECHCET日前发布报告,预计电子气体行业可能出现供应限制。在需求端,由于半导体行业的扩张,前沿逻辑芯片和3D NAND应用对增长的影响最大。随着晶圆厂的扩建在未来几年持续上线,将需要额外的气体供应来满足需求,预计5年复合年增长率为6.4%。
而在供给端,乌克兰氖气供应商已不再运作,并可能永久停产。美国国土资源部转让氦气储存和设备的所有权可能会中断供应,因为设备可能需要离线维护。除了俄罗斯之外,过去一年几乎没有新建氦气产能。氙、氪、三氟化氮、六氟化钨也均可能在未来几年出现短缺,除非有额外的产能上线。
开源证券认为,电子特气为晶圆制造过程中的第二大耗材,占比达到13%,仅次于硅片。半导体行业周期底部将至,中长期成长性仍值得期待。AI产业快速发展,或贡献重要增量。
A股相关公司包括:华特气体、金宏气体、和远气体、南大光电等。