“高速超精密激光干涉仪”受关注lg...

　　据哈尔滨工业大学新闻网，仪器学院胡鹏程教授团队研制的“高速超精密激光干涉仪”荣获首届“金燧奖”中国光电仪器品牌榜金奖。

　　据介绍，该团队专注于高速超精密激光干涉仪研发，以解决制约我国高端装备发展和量子化计量基准等前沿研究的“卡脖子”问题。团队突破系列核心测量方法和工程化关键技术，解决了该领域存在的测不准、测不精、测不快的核心难题，共获授权发明专利113项（其中国际专利6项），制定相关标准2项，出版学术著作2部。在此基础上，团队研制了HUE-D/S/X系列高速超精密激光干涉仪并进行小批量生产，经3位院士等专家鉴定，仪器整体技术达到国际先进水平，3项关键技术处于国际领先。

　　A股公司中，炬光科技（688167）为半导体光刻应用领域提供光刻机曝光系统中的核心激光光学元器件光场匀化器。赛微电子（300456）为ASML提供透镜系统MEMS部件的工艺开发与晶圆制造服务，该厂商目前为公司MEMS业务的前十大客户。