中科仪申请高温束源炉束流控制结构及其控制方法专利，有效提高源炉束流的稳定与可调节性lg...

摘要：金融界2024年4月1日消息，据国家知识产权局公告，中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司申请一项名为“一种导套内置型高温束源炉束流控制结构及其控制方法“，公开号CN117778961A，申请日期为2024年1月。专利摘要显示，本发明属于MBE分子束外延设备领域，具体地说是一种导套内置型高温束源炉束流控制结构及其控制方法，高温束源炉束流控制结构包括控制叉、坩埚塞支撑套、源炉腔体、源炉坩埚、坩埚塞、高温加热区组件及发射喷口；源炉坩埚本体固定在源炉腔体内部，其脖颈出口位置存在受控制、可移动的坩埚塞；不同于现有结构，本发明采用固定源炉坩埚的本体，控制位于高温加热区组件内的坩埚塞支撑套移动坩埚塞的形式实现控制与调节高温束源炉工作时的束流大小及开闭，彻底避免现有结构移动带料大容量坩埚(500cc以上)有发生破损的风险，在有效提高源炉束流的稳定与可调节性的同时，降低对驱动结构动力的要求。